탄성반도측정법: 두 판 사이의 차이

'''탄성반도측정법'''(Elastic Recoil Detection Analysis, ERDA) 또는 '''탄성되튐측정법'''은 [[재료과학]]에서 [[박막]]의 깊이에 따른 원소별 농도 프로파일을 얻기 위해 이온 빔을 이용하는 분석 기법이다.<ref name="Assmann1994">{{저널 인용|제목=Elastic recoil detection analysis with heavy ions.|저널=Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms|성=Assmann|이름=W.|성2=Huber|이름2=H.|날짜=1 May 1994|권=89|호=1–4|쪽=131–139|bibcode=1994NIMPB..89..131A|doi=10.1016/0168-583X(94)95159-4|ref=none|성3=Steinhausen|이름3=Ch.|성4=Dobler|이름4=M.|성5=Glückler|이름5=H.|성6=Weidinger|이름6=A.}}</ref> ERDA에서는 큰 에너지의 [[이온 빔]]을 분석할 표본에 입사하면 빔의 [[이온]]과 표본 원자의 핵자가[[핵자]]가 탄성 상호작용을 일으키게 된다. 이러한 상호작용은 [[쿨롱 법칙]]을 따르는 것이다. [[이온]]의 동역학, [[단면적 (물리학)|단면의 넓이]], 물질 내부에서 이온의 에너지가 손실되는 정도 등을 이용함으로써 탄성반도측정법은 정량적인 원소 분석을 가능하게 해주며, 표본의 깊이에 따른 프로파일을 제공한다.

입사되는 이온은 2 MeV에서 200 MeV까지 넓은 범위의 [[에너지]]를 가질 수 있다. 에너지는 연구 대상이 되는 표본이 무엇이냐에 따라 달리 결정하는데,<ref>{{저널 인용|제목=Characterization of ultra thin oxynitrides: A general approach|저널=Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms|성=Brijs|이름=B.|성2=Deleu|이름2=J.|날짜=2000|권=161-163|쪽=429–434|bibcode=2000NIMPB.161..429B|doi=10.1016/S0168-583X(99)00674-6|성3=Conard|이름3=T.|성4=De Witte|이름4=H.|성5=Vandervorst|이름5=W.|성6=Nakajima|이름6=K.|성7=Kimura|이름7=K.|성8=Genchev|이름8=I.|성9=Bergmaier|이름9=A.}}</ref><ref name="Dollinger 311–315">{{저널 인용|제목=High resolution depth profile analysis by elastic recoil detection with heavy ions|저널=Fresenius' Journal of Analytical Chemistry|성=Dollinger|이름=G.|성2=Bergmaier, A.|날짜=1995|권=353|호=3–4|쪽=311–315|doi=10.1007/BF00322058|성3=Faestermann, T.|성4=Frey, C. M.}}</ref> 샘플의 원자를 튕겨낼(recoil) 수 있을 정도로 충분히 크면 된다. 따라서 ERDA를 위해서는 적절한 이온 빔의빔 공급원과공급원이 필요하고 반동되는(recoiled) 원자를 검출하기 위한 검출기가검출기도 있어야 한다.