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'''박막'''은 기계가공으로는 만들 수 없는 두께가 [[마이크로미터|μm]] 이하인 엷은 막을 의미한다. [[강자성]] 박막을 이용하여, 컴퓨터의 기억장치로도 사용한다.
{{기계 번역}}
'''박막'''은 대략 1 [[마이크로미터|µm]] 두께의 금속 레이어를 말한다. [[전자]] [[반도체]] 장치와 [[광학]] 코팅은 박막 구조물로부터 이익을 얻는 주된 응용산업이다. 가끔 컴퓨터 메모리로 사용하기 위해서 [[강자성]] 박막을 이용하기도 한다.
[[세라믹]]은 불활성과 상대적으로 높은 강도를 가지고 있으며, 부식, 산화에도 강하기 때문에, 세라믹 박막은 [[기판]]이나 [[도구]]의 보호를 위한 코팅으로 사용된다.
[[세라믹]]박막 또한 널리 사용된다. 상대적으로 높은 강도와 불활성을 갖는 [[세라믹]] 재료는 부식, 산화, 파손로부터 기판재료의 보호를 위해 얇은 코팅의 형태로 사용된다. 특히 절단도구에서 이런 코팅의 사용은 몇 가지 등급의 상태로 인하여 수명이 늘어날 수도 있다.
또한 [[광전지]]에서 박막기술을 활용하면, 대량생산이 가능하고 효율이 높기때문에 [[박막 광전지]]에 활용할 수 있는 물질에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
박막기술은 [[광전지]] ({{lang|en|photovoltaic}}) 시스템의 비용을 충분히 감소시키는 방법으로 개발되고도 있다. 이러한 이유는 박막모듈이 재료비용, 에너지비용, 처리비용, 자본비용을 감소시켜 보다 싼 제조를 예상하기 때문이다. 그러나 박박은 [[아모퍼스 실리콘]], [[구리]], [[인듐]], [[셀렌 화합물]], [[카드늄]] [[텔루르 화합물]], [[규소|결정 실리콘]]를 포함하여 새로운 반도체 재료를 이용하여 개발되었다. 이러한 모든 기술은 주된 기술과 재정적 문제에 직면하였다.
박막공학은 박막의 물리적 특성이 경우에 따라서 쉽게 이해되지 않는 사실 때문에 어렵다. 특히 [[데웨팅]] ({{lang|en|dewetting}})의 문제는 해결을 어렵게 할 수도 있으며, 이런 현상으로 인한 몇 가지 처리에 대해서 진행되는 토론 및 연구가 있다.
== 큰기판에 고정밀 박막 증착 ==
[[파일:Linearschematic.jpg|thumb| centerright|370px|선형타켓 기술의 도면]] ▼박막 [[증착]]에서증착에서 주요한 장애물중 하나는 큰기판을 고정밀하게 [[모노]]나 [[멀티 레이어]]를 증착하는 능력이다. [[선형타켓]] 기술과 같이 [[HiHUS]] 플라즈마 [[스퍼터링]] 기술은 [[정확도와 정밀도|정밀도]], [[균일성]], [[수축]]에서 0 사이의 [[장력]]으로 [[스트레스 (물리학)|스트레스]] 제어같은 요구된 결과로 큰개선을 시연하였고, [[기판]]위의 [[표면차]] 측정은 대략 50/60 cm이다[[센티미터|cm]]이다. 선형타겟은 [[롤투롤]]이나 [[인라인]] 처리에서 [[HiTUS]]같은 동등한 이점이있는 큰면적 [[선형]]처리의 개발도 가능하다.
▲[[파일:Linearschematic.jpg|thumb|center|370px|선형타켓 기술의 도면]]
== 기술 ==
*===[[용액성장법]]을 이용한 박막 증착 기술<ref>http://www.cbd-hq.com/PDFs/cbdhq_000615_cbde_for_ICSE.pdf CBD (Chemical Bath Deposition) 방법에서 박막 즉착]</ref>===
**[[스퍼터링]]
**[[화학기상증착]] ({{lang|en|Chemical vapor deposition, CVD}})
**[[분자빔 에피택시]] ({{lang|en|Molecular beam epitaxy, MBE}})
**[[졸겔|졸겔 처리]] ({{lang|en|Sol-Gel Process}})
**[[스핀코팅]]
**[[파형레이저증착]] ({{lang|en|Pulsed laser deposition, PLD}})
== 같이 보기 ==
*[[박막 메모리]]
== 바깥주석 고리==
<references/>
<!--*[http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/hframe.html Thin film] article at [http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/hframe.html Hyperphysics]
*[http://www.plasma-quest.com/hitus-technical-benefits.html HiTUS - High Target Utilisation Sputtering]
*[http://www.plasma-quest.com/linear-target.html Linear Target Technology]-->
{{저장 매체}}
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