130 nm 공정

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130 nm(나노미터) 공정 또는 0.13 µm(마이크로미터) 공정은 회로선 폭이 130 nm인 반도체를 다루는 공정 기술 수준이다. 2000년에서 2001년 경 인텔, IBM, 텍사스 인스트루먼트, TSMC 등의 회사가 달성하였다.

130 나노미터라는 값의 기원은 매 2 ~ 3년마다 반도체의 게이트 길이를 이전 세대의 공정에 비해 70% 수준으로 축소하는 것을 반영한 동향에서 나왔다. 130 나노미터의 공식적인 명칭은 국제 반도체 기술 로드맵(ITRS)에서 확정하였다.

인텔 펜티엄 III투알라틴은 이 공정으로 제조된 최초의 CPU 중 하나이다.

130 나노미터 제조 공정을 적용한 프로세서

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각주

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  1. (러시아어) www.mcst.ru/b_4-5.shtml
  2. (러시아어) www.mcst.ru/b_18-19.shtml Archived 2015년 11월 1일 - 웨이백 머신
  3. (영어) www.dmp.com.tw